型號：P-170
品牌：KLA
所屬：探針式輪廓儀P-170
簡介：Tencor P-170是一款自動(dòng)化輪廓儀，具有行業(yè)領(lǐng)先的P-17的臺(tái)式系統(tǒng)測量性能和經(jīng)HRP?-260生產(chǎn)驗(yàn)證的機(jī)械手臂。這種組合為半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)提供了一種擁有基于機(jī)械手臂系統(tǒng)的低成本解決方案。Tencor P-170支持對臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，掃描范圍可達(dá)200毫米且無需拼接。
通過結(jié)合UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)出色的測量穩(wěn)定性。使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。Tencor P-170支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測量表面形貌。全自動(dòng)測量是通過自動(dòng)晶圓處理、圖形識(shí)別、排序和特征檢測實(shí)現(xiàn)的。
型號：P-17
品牌：KLA
所屬：探針式輪廓儀P-17
簡介：Tencor P-17是第八代臺(tái)式探針式輪廓儀，它凝結(jié)了逾40年的表面量測經(jīng)驗(yàn)。該行業(yè)領(lǐng)先的系統(tǒng)支持對臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)200mm，無需拼接。
出色的測量穩(wěn)定性通過結(jié)合UltraLite? 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)實(shí)現(xiàn)。通過使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。Tencor P-17探針式輪廓儀支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測量表面形貌。通過圖形識(shí)別、序列和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。
型號：P-7
品牌：KLA
所屬：探針式輪廓儀P-7
簡介：Tencor P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)(R&D)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺(tái)階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)150毫米，無需拼接。
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型號：D-500
品牌：KLA
所屬：探針式輪廓儀D-500
簡介：Alpha-Step D-500探針式輪廓儀能夠測量幾納米到1200微米高的2D臺(tái)階。D-500也支持在研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)中對粗糙度、彎曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D測量。D-500探針式輪廓儀搭載了140毫米手動(dòng)載臺(tái)和具有增強(qiáng)影像控制的高級光學(xué)系統(tǒng)。
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型號：D-600
品牌：KLA
所屬：探針式輪廓儀D-600
簡介：Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺(tái)階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量，以及用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應(yīng)力測量。D-600 包含一個(gè)帶有200 毫米樣品載臺(tái)的電動(dòng)樣品臺(tái)和具有增強(qiáng)影像控制的高級光學(xué)器件。
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