型號:D-600
品牌:KLA
所屬:探針式輪廓儀D-600
簡介:Alpha-Step D-600 探針式輪廓儀能夠測量從幾納米到 1200微米的2D和3D臺階高度。D-600 還支持2D和3D的粗糙度測量,以及用于研發(fā)和生產(chǎn)環(huán)節(jié)的2D翹曲度和應(yīng)力測量。D-600 包含一個(gè)帶有200 毫米樣品載臺的電動(dòng)樣品臺和具有增強(qiáng)影像控制的高級光學(xué)器件。
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