探針式輪廓儀D500
產品概述：Tencor P-170是一款自動化輪廓儀，具有行業(yè)領先的P-17的臺式系統(tǒng)測量性能和經HRP?-260生產驗證的機械手臂。這種組合為半導體、化合物半導體和相關行業(yè)提供了一種擁有基于機械手臂系統(tǒng)的低成本解決方案。Tencor P-170支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力進行2D和3D測量，掃描范圍可達200毫米且無需拼接。
通過結合UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺，可實現出色的測量穩(wěn)定性。使用點擊式樣品臺控制、頂視和側視光學元件以及具有光學變焦功能的高分辨率相機，可快速輕松地設置程式。Tencor P-170支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調平和分析算法來測量表面形貌。全自動測量是通過自動晶圓處理、圖形識別、排序和特征檢測實現的。
