探針式輪廓儀P-170
型號(hào)：P-170
品牌：KLA
所屬：探針式輪廓儀P-170
簡(jiǎn)介：Tencor P-170是一款自動(dòng)化輪廓儀，具有行業(yè)領(lǐng)先的P-17的臺(tái)式系統(tǒng)測(cè)量性能和經(jīng)HRP?-260生產(chǎn)驗(yàn)證的機(jī)械手臂。這種組合為半導(dǎo)體、化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)提供了一種擁有基于機(jī)械手臂系統(tǒng)的低成本解決方案。Tencor P-170支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測(cè)量，掃描范圍可達(dá)200毫米且無需拼接。
通過結(jié)合UltraLite?傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)，可實(shí)現(xiàn)出色的測(cè)量穩(wěn)定性。使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。Tencor P-170支持2D或3D測(cè)量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測(cè)量表面形貌。全自動(dòng)測(cè)量是通過自動(dòng)晶圓處理、圖形識(shí)別、排序和特征檢測(cè)實(shí)現(xiàn)的。
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