探針式輪廓儀D500
產(chǎn)品概述：Tencor P-17是第八代臺(tái)式探針式輪廓儀，它凝結(jié)了逾40年的表面量測經(jīng)驗(yàn)。該行業(yè)領(lǐng)先的系統(tǒng)支持對臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行二維(2D)和三維(3D)測量，掃描范圍可達(dá)200mm，無需拼接。
出色的測量穩(wěn)定性通過結(jié)合UltraLite? 傳感器、恒力控制和超平掃描樣品臺(tái)實(shí)現(xiàn)。通過使用點(diǎn)擊式樣品臺(tái)控制、頂視和側(cè)視光學(xué)元件以及具有光學(xué)變焦功能的高分辨率相機(jī)，可快速輕松地設(shè)置程式。Tencor P-17探針式輪廓儀支持2D或3D測量，可使用多種濾波、調(diào)平和分析算法來測量表面形貌。通過圖形識(shí)別、序列和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。
