薄膜厚度測試系統(tǒng) Filmetrics F54
型號：F54-XY-200
品牌：KLA
所屬：薄膜厚度測試系統(tǒng) Filmetrics F54
簡介：Filmetrics F54 系列的產(chǎn)品能以一個電動R-Theta 平臺自動移動到選定的測量點(diǎn)以每秒測繪兩個點(diǎn)的速度快速的測繪薄膜厚度, 樣品直徑達(dá)450毫米
可選擇數(shù)十種內(nèi)建之同心圓,矩形,或線性圖案模式,或自行建立無數(shù)量限制之測量點(diǎn).僅需具備基本電腦技能的任何人可在數(shù)分鐘內(nèi)自行建立配方
F54 自動化薄膜測繪只需聯(lián)結(jié)設(shè)備到您運(yùn)行Windows?系統(tǒng)計算機(jī)的USB端口, 可在幾分鐘輕松設(shè)置
不同的型號主要是由厚度和波長范圍作為區(qū)別。通常較薄的膜需要較短波長作測量(如F54-UV) 用來測量較薄的膜,而較長的波長可以用來測量更厚，更粗糙，或更不透明的薄膜
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