型號:P-7
品牌:KLA
所屬:探針式輪廓儀P-7
簡介:Tencor P-7探針式輪廓儀為生產(chǎn)和研發(fā)(R&D)環(huán)節(jié)提供了從幾納米到一毫米的臺階高度測量功能。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進行二維(2D)和三維(3D)測量,掃描范圍可達150毫米,無需拼接。
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