產品描述
iMicro 納米壓痕儀標配InForce 1000作動器，用于進行納米壓痕和萬能納米力學 試驗，并可選配InForce 50作動器用于測試較軟的材料。InView 軟件包靈活、現 代，讓用戶輕松進行納米尺度測試。iMicro是一款緊湊型測試平臺，其箱體中內 置高速InQuest控制器和隔振框架。各種不同的材料和器件均可以進行測試，包 括金屬、陶瓷、復合材料、薄膜、涂層、聚合物、生物材料和凝膠等。
產品特色
InForce 1000作動器采用電容式位移傳感和電磁力驅動，且壓頭易于更換
InForce 50作動器選件，提供最大50mN的法向力，可用于測量較軟的材料；Gemini 2D作動器選件，可實現兩個方向的動態(tài)測量獨特的壓頭校準系統(tǒng)，集成在軟件中，可實現快速、準確的壓頭校準
InQuest高速控制器電路，數據采集速率可達100kHz，時間常數最快為20μs
XY運動系統(tǒng)以及易于安裝的磁性樣品臺
高剛度框架，且集成隔振功能
集成顯微鏡，數字變焦，可實現精確的壓痕定位
符合ISO 14577等標準的測試方法
InView軟件包，包含RunTest、ReviewData、InFocus、InView University在線培訓和InView移動應用程序
產品應用
硬度和模量測量（基于Oliver-Pharr模型）
快速材料力學性能成像
ISO 14577 硬度測試
聚合物損耗因子、儲存模量和損耗模量
定量的劃痕和磨損測試
高溫納米壓痕測試
適用行業(yè)
大學、科研實驗室和研究所
半導體與封裝產業(yè)
PVD/CVD 硬質涂層（DLC、TiN）
MEMS：微機電系統(tǒng)/萬能納米力學試驗
陶瓷與玻璃
金屬與合金
制藥
涂層 涂料
復合材料
電池與儲能
汽車與航空航天
主要應用
硬度和模量測量（基于 Oliver-Pharr 模型）
力學性能表征在薄膜的制造和工藝控制中至關重要，其中包括汽車工業(yè)中的涂層質量控制，以及半導體制造中前段和后段的工藝控制。
iMicro納米壓痕儀能夠測量從超軟凝膠到硬質涂層的各種材料的硬度和模量。高效地評估材料性能，保證了在生產線上進行有效的質量管控。
快速材料力學性能成像
對于包括復合材料在內的許多材料而言，不同區(qū)域之間的力學性能可能存在很大差異。iMicro的樣品臺在X軸和Y軸方向上能夠分別移動100mm，且其在Z軸方向上能夠移動25mm，因此可以測試尺寸大且高度不同的樣品。使用NanoBlitz功能選項進行材料表面和斷層力學性能成像，可以快速獲得各種被測力學性能的彩色分布圖。
ISO 14577 硬度測試
iMicro 納米壓痕儀內置預先編寫的 ISO 14577 測試方法，其依據 ISO 14577 標準測量材料硬度。該測試方法可以自動測量并輸出楊氏模量、納米壓痕硬度、維氏硬度和歸一化壓痕功。
聚合物損耗因子、儲存模量和損耗模量
iMicro 納米壓痕儀能夠測量超軟材料（包括粘彈性聚合物）的損耗因子、儲存模量和損耗模量。儲存模量、損耗模量和損耗因子是粘彈性聚合物的重要性能，因為作用到此類材料上的能量以彈性能的形式儲存或以熱量的形式耗散。上述指標即用于衡量材料中的能量儲存和耗散情況。
定量的劃痕和磨損測試
iMicro 可以對多種材料進行劃痕和磨損測試。涂層和薄膜要經受多種工藝流程，例如化學機械拋光(CMP)和引線鍵合，這會考驗這些薄膜的強度及其與襯底的附著力。對這些材料來說，重要的是在這些流程中抵抗塑性形變，并保持完好而不從襯底上剝離。理想情況下，電介質材料應具有較高的硬度和彈性模量，這將有助于其在經歷制造流程時有效抵抗外界影響。
高溫納米壓痕測試
高溫納米壓痕對于表征熱應力作用下的材料性能至關重要，在定量研究熱機械加工過程中的失效機理時更是如此。在不同溫度下進行力學測試，不僅可以研究材料受熱時的性能變化，還可以量化研究材料的塑性轉變，這在納米尺度上并非易事。
